油壓機半導體式壓力傳感器的工作原理
半導體晶體在受到一個外力作用時，因半導體的壓阻效應，其內(nèi)部的電阻會發(fā)生大的改變。利用測出電阻改變量制成的壓力傳感器稱半導體傳感器。將硅單晶基板的中央部分腐蝕 成薄膜狀的硅環(huán)，再利用的擴散工藝制成由四個半 導體應變片構(gòu)成的惠斯通電橋，測量出電阻改變量， 便可測出液體的壓力。

油壓機電式壓力傳感器的工作原理
壓電式壓力傳感器是利用晶體的正壓電效應制成的傳感器。所謂壓電效應，是指壓電晶體在 外載荷(液體壓力)的作用下產(chǎn)生機械變形，在其極化面上會產(chǎn)生電荷，且產(chǎn)生的電荷量與外部 施加的力成正比，因此測得電荷量便可測出液體壓力的大小。
壓電效應是一種靜電效應，壓電元件受力所產(chǎn)生的電荷很微弱，加上其他因素，輸出信號很 弱，所以傳感器的輸出信號必須由低噪聲電纜引人高輸入阻抗的電荷放大器，該放大器是具有深度電容負反饋的高增益放大器，其等效電路見為壓電式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理。被測液體壓力作用在膜片上，膜片將力傳給壓電晶體，晶體受沿極化方向的力作用后，產(chǎn)生厚度方向的壓縮變形，因壓電效應產(chǎn)生電荷。
(a)壓電式壓力傳感器(b)電荷放大器等效電路壓電式壓力傳感器及電荷放大器等效電路由兩極板收集引向測量電路。
壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡單，性能優(yōu)良，測壓范圍廣，可在高溫環(huán)境下工作，常被應用到四柱油壓機設備上。